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◎ 雜質含量及公差表 / ppm :

       Sio2 99.995 %

 

 Bullets009_1.gif 石英材料雖是地表中含量豐富之元素,但如果要被廣泛應用於各產業中,則必須經過材料純化,提取高純度之石英原材。

 

 Bullets009_1.gif 因此純度是石英材料的重要指標,由其是半導體產業對石英材料的需求,微量的雜質含量對於半導體元件的電性能、耐溫耐磨耗等,皆會有直接影響。

 

 Bullets009_1.gif 所以石英材料之雜質元素含量總量必須控制在ppm,以符合半導體產業運用之需求。

 

Al

Fe

Ca

Mg

Ti

Mn

B

K

Na

Li

Cu

Co

Ni

OH

16

0.4

0.6

0.4

0.1

0.1

0.8

2.0

2.3

0.5

0.57

<0.02

0.03

3

 

◎ 石英管尺寸公差表 :

規  格

外徑公差

壁厚公差

偏壁度(max)

橢圓度(max)

彎曲度(max)

< 10

0.15

0.1

0.1

0.15

2%

10 ~ 15

0.2

0.1

0.12

0.2

2%

15 ~ 20

0.25

0.15

0.13

0.25

2%

20 ~ 30

0.3

0.15

0.15

0.3

2%

30 ~ 50

0.4

0.15

0.15

0.4

2%

50 ~ 80

1.0

0.3

0.3

1.0

4%

80 ~ 120

1.5

0.4

0.4

1.3

5%

120 ~ 180

2.0

0.5

0.5

1.5

5%

180 ~ 240

2.0

0.7

0.6

2.0

5%

240 ~ 300

2.5

0.8

0.7

2.5

5%

> 300

3.0

1.0

0.8

3.0

5%

 

◎ 石英棒尺寸公差表  :

OD

OD公差

橢圓度

2 ~ 5

0.15

0.15

5 ~ 10

0.2

0.2

10 ~ 15

0.3

0.3

15 ~ 20

0.4

0.3

20 ~ 25

0.5

0.4

25 ~ 30

0.6

0.4

30 ~ 35

0.7

0.4

35 ~ 60

0.8

0.4

60 ~ 100

1.0

0.5

 

◎ 石英板 / 石英環 - 可依客戶需求裁切或加工