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◎ 離子擴散 :

 

 Bullets009_1.gif 石英材料的結構,其中以鈉離子的擴散速度為最快,因此半導體產業用於高溫爐管或擴散管時,對於爐內之耐火材料或爐軸,必須先經過高溫和清洗處理,除去鉀和鈉等鹼性雜質,以避免石英材料與之反應。

 

 ◎各離子在石英材料中之擴散係數( 1100 下 ) :

 

離  子

透明石英 mm/ sec

合成石英 mm/ sec

Na+

2 x 10-4

5 x 10-5

Ca2+

2 x 10-8

 

Al3+

< 10-12

< 10-12

Ag+

10-5

10-7

 

◎ 石英材料透氣性 :

 

 ◎ 石英容器連續抽真空所得最高真空度 :

 

溫度 

20 

900 

透明石英

3.7 x 10-6 mm-Hg

7.0 x 10-6 mm-Hg

合成石英

1.0 x 10-5 mm-Hg

7.4 x 10-6 mm-Hg

 

◎ 石英材料透氣常數K :

 

溫度

常數K

200

400

600

700

800

900

1000

1.39

6.15

16.4

21.9

28.5

36.2

45.4

0.022

0.37

1.43

2.52

4.25

6.40

10.00

 

 

 

17

 

 

 

 

 

2.8

4.2

 

 

 

 

 

 

< 10-15

 

 

 

 

 

 

< 10-15

 

 

 

 

 

 

< 10-15