光電

LED
日酸 SR4000
日酸 UR25K
AIXTRON MOCVD Platform AIX G5 HT
AIXTRON AIX 2800 G4
Aixtron TS-19
Aixtron TS-30
韓國 TES

面板
Dry etch 韓國 INVENIA G4~G8.5性能、耐腐蝕及極端熱衝擊抵抗